X-射線(xiàn)熒光光譜：作為一種比較分析技術(shù)，在較嚴格的條件下用一束X射線(xiàn)或低能光線(xiàn)照射樣品材料，致使樣品發(fā)射特征X射線(xiàn)。這些特征X射線(xiàn)的能量對應于各特定元素，樣品中元素的濃度直接決定射線(xiàn)的強度。該發(fā)射特征X射線(xiàn)的過(guò)程稱(chēng)為X射線(xiàn)熒光或XRF.
 

X射線(xiàn)熒光光譜儀有兩種基本類(lèi)型：波長(cháng)色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF)
 

一臺典型的XRF儀器的核心硬件包括X射線(xiàn)源與X射線(xiàn)探測器及多通道數字脈沖處理器。其中X射線(xiàn)源是提供激發(fā)樣品特征X射線(xiàn)的光源， X射線(xiàn)探測器檢測X射線(xiàn)光子的裝置，并能把它的能量按照光子的振幅比例來(lái)轉化為具有電子能量的脈沖，而多通道數字脈沖處理器則能夠將探測器轉化來(lái)的脈沖信號進(jìn)行處理，從而得到X射線(xiàn)的能譜圖。
 
日立X射線(xiàn)熒光光譜儀EA1000AIII通過(guò)將可選項的精度管理型軟件進(jìn)一步升級,并使之成為標準配備，實(shí)現了低價(jià)格化。與以往儀器相比，環(huán)境管制物質(zhì)的測量時(shí)間大幅縮短，材料辨識功能、分析線(xiàn)切換功能、清晰易懂的操作面板……易用性大大提高，分析速度更快，操作更簡(jiǎn)單。